製品のラインアップ

Plasma  CVD  System

    
     装置型式               成膜膜種                    ウエハサイズ           目 的

     VDS-5800SNC          SiN/SiO2/SiON/a-Si/TEOS/PSG/BPSG      〜150mm         R&D、量産試作、量産ライン

     VDS-5800SNC-L         SiN/SiO3/SiON/a-Si/TEOS/PSG/BPSG      〜200mm         量産ライン

     VDS-5700             SiN/SiO5/SiON/a-Si/TEOS/PSG/BPSGG     〜150mm         R&D、大学等研究機関

     

     

     

   その他、カスタム品の制作いたします。 お気軽にご相談ください。