製品のラインアップ

Plasma  CVD  System

    
     装置型式            成膜膜種              ウエハサイズ         目 的

   VDS-5800SNC        SiN/SiO2/SiON/a-Si/TEOS/PSG/BPSG    〜150mm      R&D、量産試作、量産ライン

   VDS-5800SNC-L       SiN/SiO3/SiON/a-Si/TEOS/PSG/BPSG    〜200mm      量産ライン

   VDS-5700          SiN/SiO5/SiON/a-Si/TEOS/PSG/BPSGG   〜150mm       R&D、大学等研究機関

     

     

     

   その他、カスタム品の制作いたします。 お気軽にご相談ください。