JPEL

   Creative & Innovative  

JAPAN PRODUCTION & ENGINEERING LABRATORIES Co.,Ltd
Plasma CVD System

JPELについて JPELのポリシー JPELの歩み 環境への取り組み
製品のラインアップ 生産中止品目
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spacer PE-CVDメーカーの日本生産技術研究所 spacer

spacer 株式会社 日本生産技術研究所はプラズマCVDを主力とする半導体装置の製造メーカーです。 お客様とのコミュニケーションを大切にし、お客様のニーズを実現する技術の革新を目指しています。 特に複雑な構造のデバイスや低温プロセスが必要な特殊基板、低ストレスで緻密な成膜等、高度なプロセス(化合物半導体/光導波路/MEMS等) を必要とするご相談を多数頂いております。また、地球環境保全に貢献するために、太陽光発電分野及び、低消費電力で期待されている LEDの製造分野に積極的に取り組んでおります。 spacer

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  極薄ウエハへの成膜   搬送系の取り扱いに注意が必要
  化合物系ウエハへの成膜   サーマルショック等で破損し易い
  低温(100℃〜)での成膜   特殊基板への成膜>
  低D/R(5nm/min)での成膜               耐湿性/耐絶縁性に優れた成膜
  ストレスコントロール   低ストレスで緻密な成膜
  球体への成膜   独自の機構により球体全面に均一な成膜                                                                        

その他、成膜に関するご相談がありましたら、是非ご連絡下さい。
 
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